Roots-skruevakuumpumpeenhed til fremstilling af halvledere

Roots-skruevakuumpumpen kombinerer styrkerne ved Roots-pumper og skruepumper og tilbyder en ren, effektiv og oliefri vakuumløsning til krævende industrielle og laboratorieanvendelser. Med et spalteforseglingsdesign og uden smøreolie opretholder disse pumper høj renhed og enestående ydeevne under hele driften.

Funktionsprincip for Roots skruevakuumpumpeenhed

• Skruevakuumpumpe (forstadium):Fungerer som forstadiumspumpe og leverer høje pumpekapaciteter og lavt udstødningstryk. Mekanisk kompression via præcise skruespalter sikrer effektiv, støjsvag og vibrationsfattig drift.
• Roots-vakuumpumpe (hoved-/mellemtrin):Synkront roterende dobbeltrotorer overfører udstødningsgas fra sugekammeret til udstødningskammeret. Spalteforsegling forhindrer olieforurening og opretholder et rent vakuummiljø.
• Serieoperation:Begge pumper arbejder i serie, hvor skruepumpen forbedrer vakuumniveauet, og Roots-pumpen sikrer stabil, kontinuerlig pumpeeffektivitet.

Ydelsesfordele

1. Energibesparende:Optimeret forhold mellem pumpehastighed og vakuumgrad reducerer strømforbruget og overgår traditionelle vakuumsystemer i energieffektivitet.
2. Høj effektivitet:Opnår over 90 % pumpeeffektivitet og leverer høje vakuumniveauer med lavt energiforbrug til forskellige processer.
3. Sikkerhedsbeskyttelse:Avanceret styresystem med automatisk start/stop, overbelastnings-, overstrøms- og vandafskæringsbeskyttelse sikrer langvarig stabilitet.
4. Kompakt design:Lodret stabling eller stigeformet struktur minimerer pladsbehovet, hvilket er ideelt til fabrikker og laboratorier med begrænset plads.
5. Fleksibel konfiguration:Justerbart pumpehastighedsforhold mellem pumper (1:2 til 1:8) for at tilpasse sig forskellige arbejdsbehov.
6. Korrosionsbeskyttelse:Overløbsflader er behandlet eller fremstillet af korrosionsbestandige materialer, der er egnede til udvinding af ætsende gasser og drift i barske miljøer.

Anvendelsesområder

• Kemisk industri:Udtømning af flygtige organiske opløsningsmidler, gasser og til brug i vakuumreaktorer – udbredt i kemiske og farmaceutiske processer.
• Halvlederproduktion:Understøtter vakuumaflejring, rengøring og ætsningsprocesser.
• Fødevareindustrien:Uundværlig til fødevareemballering, dehydrering og vakuumtørringsprocesser.
• Metallurgisk industri:Udtager gas i metallurgiske ovne og laboratorier for at stabilisere smelteprocesser.
• Laboratorie- og videnskabelig forskning:Ideel til vakuumeksperimenter og gasgenvinding i videnskabelige miljøer.
• Elektronikindustrien:Anvendes i fremstilling af integrerede kredsløb, vakuumbelægning af skærme og andre elektroniske fremstillingsprocesser.